热场式场发射扫描电镜

  •  低位二次电子探测器；

  •  五轴马达驱动样品台；

  •  4孔物镜活动光阑杆（孔径20, 30, 70, 150µm）。

  •  分辨率：优于1.2nm@30kV；

  •  束流：最大不小于200nA；

  •  样品台驱动：5轴U中心马达驱动；

  •  X/Y/Z/T/R一体化，非分离式，X：0~100mm，Y：0~50mm，Z：3~65mm，T：-20

     ~90deg，R: 360deg连续可调；

  •  最大样品尺寸：最大直径200mm，最大高度80mm。

     用于材料的微观形貌结构表征。